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Micro Electronic Mechanical System

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작성일 23-01-11 19:46

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Micro Machine, MEMS 같은 동의어

초소형 기계, 초소형 시스템

현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함

크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템

전기적 기계…(skip)


다.



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